eds和xps区别 eds与xps的测试深度

EDX指的是能量散射型X射线荧光光谱仪，也有人叫EDXRFEDS是能谱仪XRF是比EDS更准确的定量XRF的应用 a X射线用于元素分析，是一种新的分析技术，但在经过二十多年的探索以后，现在已完全成熟，已成为一种广泛应用于冶金地质有色建材商检环保卫生等各个领域b 每个元素的特征X。

扫描电镜及能谱SEM＆EDS技术可以观察材料的形貌成分及其分布这对于评估正极片材料的完整度和CNT覆盖情况尤为重要通过EDS面扫分析，eds和xps区别我们能详细eds和xps区别了解NCMLiCoO2复合正极片材料以及电池材料在铝箔集流器上的涂覆情况和胶黏剂成分X射线光电子能谱仪XPS能提供极片浅表面的元素元素价态信息。

EDS虽是体含量，但主要是定性测量，定量很麻烦，要标定的，一般人家不给做XPS一般是表层13nm处的含量，但是定量准确，精确度在95%以上你要发高水平的SCI，建议用XPS一般的文章用EDX就行了。

XPS谱图包含光电子谱线卫星峰俄歇电子谱线和自旋轨道分裂等结构通过光电子谱线可以定性分析元素组成，卫星峰和俄歇电子谱线提供了更多关于元素化学态和结构的信息自旋轨道分裂现象则揭示了电子的轨道运动与自旋运动的耦合XPS与能量色散X射线光谱仪EDS在元素定性和定量检测上具有相似性，但XPS。

合成了金银纳米簇，进行XPS和EDS表征审稿人问，为什么我的XPS和EDS表征结果中，金元素和银元素含量相差很多确实是，XPS结果中金银比例差不多11，而EDS出来的结果中，银的含量相对金来说，非常低我认为这两种表征都是半定量的，这种含量很不准确所以写文章的时候压根没考虑到这个问题。

10 XPSX射线光电子能谱仪，提供表面元素定性和半定量分析，能够揭示分子结构信息11 EPMA电子探针微分析仪，作为微区元素定量分析的高端工具，具有广泛的分析范围和精确度12 SIMS二次离子质谱仪和EDS能量色散X射线光谱仪，则是分析低浓度掺杂和元素深度分布的强大工具，具备高灵敏。

**EDSEDX**能量色散X射线光谱，用于元素定性和定量分析 **XPS** X射线光电子能谱深入分析材料表面层的化学状态 **AES** 原子发射光谱提供元素丰度信息，尤其适用于薄层样品 **色谱分析** GCICGPCHTGPCHPLC分离和分析混合物中各组分 **化学分析**。

Mapping适用的微区面积范围和分辨率是多少PHI XPS的真实X射线束斑尺寸为75um，作为最小分辨率微区分析的面积范围通常在100um×100um到500um×500um之间EDS和Raman mapping有什么区别EDS检测电子激发的特征X射线，Raman检测光子，两者原理不同，探测的信息和检测深度有差异XPS是表面灵敏的分析。